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經發局SBIR廠商埃爾思科技研發奈米探針 獲半導體大廠逾300萬元訂單

高市經發局109年透過地方型SBIR計畫協助新創企業埃爾思科技客製研發10奈米以下探針,作為先進半導體製程檢測設備關鍵耗材,111年訂單上看300萬元,並與國際大廠合作開發原子級針尖為主氣體場離子源聚焦離子束設備(GFIS-FIB),現取得美國專利,第一代設備預計113年上市。 
埃爾思董事長、總經理張維哲國立成功大學機械研究所博士畢業,曾任中央研究院物理所,108年創辦埃爾思科技,專精電化學與表面處理技術,研發先進半導體製程測試需用聚焦離子束設備及奈米探針,109年榮獲高市地方型SBIR補助,111年取得竹科半導體大廠供應鏈訂單。 



張維哲感謝經發局透過SBIR計畫補助提升企業研發量能,並透過KO-IN智高點進駐廠商誠研創新科技投資育成,爭取科研創業資源,推動技術商業化。111年取得逾300萬元奈米探針訂單,並積極與代理商合作布局新加坡等地市場,未來持續精進核心技術,維持業界領先地位,進軍全球先進半導體市場,樹立高雄半導體領域新創典範。 
經發局長廖泰翔表示,半導體扮演台灣關鍵產業角色,市府配合政策力推南部半導體S廊帶計畫,吸引台積電、默克、英特格等大廠投資,也催生S廊帶產學大聯盟,結合產官學界資源,增加產業鏈韌性與彈性,持續透過KO-IN、DAKUO等新創基地媒合大廠,大手攜小手加速產業轉型升級。圖/經發局提供、文/高培德

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